專業機構設計團隊
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客製化-腔體1.腔體尺寸
2.Port數量 |
MBE腔體
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客製化-Target Roating Driving1.Target數量
2.Target 尺寸 |
可公自轉旋轉機構
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客製化-Manipulator1.加熱器種類
2.Sample Holder 尺寸 3.Sample 需求溫度 |
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客製化-多系統整合1.依實驗室空間，來規劃儀器的架設。
2.Load Lock、傳輸軸，氣路設計。 |
PLD+Sputter整合系統
PLD+MBE+Sputter整合系統
PLD+Evaporator
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